반도체 웨이퍼 운송

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고객은 필요로 합니다

모바일 매니퓰레이터(MOMA)는 가까운 미래에 로봇 개발의 가장 중요한 트렌드 중 하나로, 협동 로봇에 다리를 부착하여 쉽고 자유롭고 신속하게 이동할 수 있도록 하는 것입니다. TM 협동 로봇은 국제 특허 기술인 랜드마크(Landmark)와 내장 비전 시스템을 통해 로봇을 정확한 위치로 이동시켜 모든 후속 동작을 정밀하게 수행할 수 있도록 안내하기 때문에 모바일 매니퓰레이터에 가장 적합한 선택입니다. 이는 비전 시스템 연구 개발에 소요되는 시간과 비용을 크게 절감해 줄 것입니다.
MOMA는 매우 빠르며 작업실이나 장소에 제한받지 않고, 협동 로봇, 센서, 레이저 레이더, 사전 설정 경로, 능동형 장애물 회피, 최적화된 알고리즘 등을 통해 동일 공간에서 작업하는 사람과 안전하게 상호 작용할 수 있습니다. MOMA는 다양한 작업 스테이션에서 운송, 적재 및 하역 작업을 탁월하게 수행할 것입니다.

TM 모바일 매니퓰레이터의 장점

1. 빠른 설치, 많은 공간 필요 없음

2. 레이저 레이더와 최적화된 알고리즘을 이용하여 경로를 자동으로 계획합니다.

3. 인간과 로봇 간의 협업

4. 미래의 요구사항을 유연하게 충족할 수 있도록 손쉽게 프로그래밍할 수 있습니다.

5. 무인 기술, 온보드 배터리

6. 자동 충전소를 통한 24시간 무인 운전

7. 로봇의 다양한 EOAT 간 전환을 구현했습니다.

8. 협동 로봇 팔에 비전 시스템이 내장되어 있어, 협동 로봇용 비전 시스템을 별도로 설치하는 데 시간과 비용을 추가로 투자할 필요가 없습니다.

9. 내장된 비전 및 랜드마크 기술(TM 협동 로봇 특허)을 통해 정확한 방향 및 움직임을 구현합니다.

솔루션 특징

(반도체 웨이퍼 운송에 있어 협동 로봇의 장점)

고정밀도

협동 로봇은 웨이퍼 처리에서 서브마이크론 수준의 정확도를 달성하여 오류를 줄이고 품질 안정성을 향상시킵니다.

효율적인 자동화

이 시스템은 가동 중지 시간을 최소화하면서 24시간 연중무휴로 작동하여 장비 활용도와 생산 효율성을 향상시킵니다.

유연성

협동 로봇은 엔드 이펙터를 변경하고 재프로그래밍하여 다양한 웨이퍼 크기와 작업에 적응할 수 있습니다.

안전과 청결

클린룸 환경에 적합하게 설계된 협동 로봇은 높은 청결 기준을 유지하고 오염 위험을 줄입니다.

비용 효율성

하는 동안협동 로봇은 인건비를 절감하고, 불량률과 재작업을 최소화하여 전반적인 생산 효율을 향상시킵니다.사이.

이동성과 다용성

이동하는협동 로봇은 작업대 사이를 이동하며 여러 작업을 동시에 처리할 수 있어 운영 유연성을 높여줍니다.

실시간 모니터링

센서와 비전 시스템을 갖춘 협동 로봇은 실시간 피드백을 제공하고 프로세스를 동적으로 최적화합니다.

인간의 개입 감소

협동 로봇은 웨이퍼 운송을 자동화하여 사람과의 접촉 및 오염을 최소화합니다.

관련 상품

      • 최대 적재량: 16kg
      • 도달 거리: 900mm
      • 일반적인 속도: 1.1m/s
      • 최대 속도: 4m/s
      • 반복성: ± 0.1mm
      • 최대 적재 용량: 1000kg
      • 종합 배터리 사용 시간: 6시간
      • 위치 정밀도: ±5, ±0.5mm
      • 회전 직경: 1344mm
      • 주행 속도: ≤1.67m/s
        • 파지력: 3~5.5N
        • 권장 공작물 무게: 0.05kg
        • 스트로크: 5mm
        • 개장/폐장 시간: 0.03초
        • IP 등급: IP40